![]() 太陽電池之缺陷檢查裝置及檢查方法
专利摘要:
本發明係提供一種太陽電池之檢查裝置及檢查方法,該裝置及方法係可考量將檢測對象單元之電阻成分加以旁通且流動之偏壓電流,且用高精度檢測出缺陷者。而該裝置包含有:對檢測對象單元照射光之主光源、對其他單元照射光之副光源、將太陽電池之輸出電流轉換成電壓之分流器電阻、放大電壓之放大器、抽出該輸出所含之偏壓電流之偏壓電流抽出電路、將來自放大器之輸出減去偏壓電流之偏壓電流抵銷電路、轉換成數位資料之A/D轉換器、進行圖像處理之圖像處理裝置、以及進行圖像顯示之顯示器;且係根據已考量前述偏壓電流且檢測對象之單元已發電之啟動電流成分來進行檢查。 公开号:TW201303326A 申请号:TW101121299 申请日:2012-06-14 公开日:2013-01-16 发明作者:Seiji Yoshino 申请人:Npc Inc; IPC主号:H02S50-00
专利说明:
太陽電池之缺陷檢查裝置及檢查方法 技術領域 本發明係一種有關於檢查太陽電池缺陷之裝置及檢查方法。 背景技術 近年隨著環保意識之高漲,逐漸有大量之太陽電池流通在市面上。如此一來,檢查太陽電池之性能,於製造步驟特定並除去有缺陷之太陽電池至為重要。 以下之專利文獻1中,揭示有使用主光源與副光源共二個光源之太陽電池輸出檢測裝置。太陽電池中,在複數太陽電池單元經串聯時,裝置全體之輸出電流值係與發電量最少之太陽電池單元所發電之電流值相同。因此,主光源部係對太陽電池之一部分檢測對象單元的受光面照射光,而副光源部則對非檢測對象單元之受光面照射照度較高之光,且使於非檢測對象單元產生較高之電流值,藉此可檢測檢測對象單元之受光面之面內分布。 又,專利文獻2揭示有藉由電致發光(以下稱為EL)法之檢查裝置。該裝置係根據對太陽電池施加順向電流時就會發光之特性來檢測裂痕或缺口等缺陷。 先行技術文獻 專利文獻 【專利文獻1】日本特開2010-238906號 【專利文獻2】日本特表2006-59615號 發明揭示 然而,在已串聯太陽電池單元之串與模組之檢測中,在使用主光源部與副光源部共二個光源進行輸出檢測時,係將來自主光源部之光照射的檢測對象單元之發電電流,與旁通且流動檢測對象單元之電阻成分的非檢測對象單元之發電電流相加來加以檢測。即,太陽電池單元係可用等效電路來表現,而該等效電路包含有:串聯之電流源與二極體、與該電流源及二極體並聯之電阻、更與該電流源及二極體串聯之電阻者。藉此,將上述太陽電池複數串聯時,個別之單元中與電流源及二極體並聯之電阻中會流動已旁通之電流。例如,在檢測第1個太陽電池單元時,對於已測出之電流值,係除了第1個單元之發電電流以外,非檢測對象之第2個以後之單元所發電之電流會流動於第1個單元之並聯電阻而相加。以下,將該已旁通之電流稱為偏壓電流。 構成串與模組之各個單元,係依據單元製造時之品質不均,而分別具有不同內部電阻值。故,依據副光源部之光照射,每一太陽電池單元會流動不同偏壓電流,而無法獲得正確之檢查結果。 特別是當偏壓電流一大,於檢查結果之顯示圖像中缺陷單元之圖像就會超過檢測系統之輸入範圍,因此會變成超過圖像資料之處理上限而亮度過高之圖像而呈現一片雪白。 偏壓電流較主光源部之發電電流為大,若將其保持原狀地轉換成圖像,在檢測複數單元中例如檢測電阻小之第1個單元時,就會輸出一檢測出只有該第1個單元之發電量相當多的錯誤結果。 又,依據串及模組內太陽電池之電阻成分的不均狀況,可能會將不良部分判定為良好,或良好部分判定為不良。因此,在使用有2個光源之缺陷檢查裝置中,必須檢出偏壓電流,並從已相加之電流值將該數值減去,而關於此點專利文獻1中係完全無記載。 又,EL法中,在用於檢查多結晶型太陽電池之情況下,當已流動順向電流時,會受到存在於多結晶型太陽電池之發電之粒界部與不發電之粒界部的影響,而有難以藉由多結晶型太陽電池單元之粒界形態缺限的圖像進行判別之問題。 有鑑於上述情事,本發明之目的係在於提供一種可用高精度判定缺陷之太陽電池之缺陷檢查裝置及檢查方法。 本發明之太陽電池之缺陷檢查裝置,係檢查已串聯複數單元之太陽電池之缺陷者,其特徵在於包含有:主光源,係對前述單元中之檢測對象之單元照射光者;副光源,係對前述單元中之非檢測對象之單元照射光者;光源控制電路,係控制前述主光源與前述副光源分別之照度,使前述副光源之照度較前述主光源照度為高者;電流電壓轉換器,係被賦予前述太陽電池所輸出之電流,且將其加以轉換成電壓並輸出者;放大器,係被賦予前述電流電壓轉換器所輸出之電壓,且將其加以放大並輸出者;偏壓電流抽出電路,係將包含於來自前述放大器之輸出的偏壓電流抽出並加以輸出者;偏壓電流抵銷電路,係將來自前述放大器之前述輸出,減去前述偏壓電流抽出電路所抽出之前述偏壓電流並加以輸出者;A/D轉換器,係將來自前述偏壓電流抵銷回路之輸出轉換成數位資料並加以輸出者;圖像處理裝置,係對前述A/D轉換器所輸出之數位資料進行圖像處理並輸出圖像資料者;及,顯示器,係被賦予前述圖像處理裝置所輸出之前述圖像資料並進行圖像顯示者,且,前述缺陷檢查裝置係根據已考量前述偏壓電流且檢測對象之單元已發電之啟動電流成分來進行檢查。 本發明之太陽電池之缺陷之檢查方法,係檢查已串聯複數單元之太陽電池之缺陷者,其特徵在於包含有以下步驟:藉由主光源,用第1照度對前述單元中之檢測對象之單元,照射光;藉由副光源,用較前述第1照度高之第2照度對前述單元中之非檢測對象之單元照射光;藉由偏壓電流抽出電路,抽出包含於前述太陽電池所輸出之電流之偏壓電流;藉由偏壓電流抵銷電路,從前述太陽電池所輸出之電流抵銷前述偏壓電流;及,使用來自前述偏壓電流抵銷電路之輸出來進行圖像處理且顯示於顯示器,藉此,根據已考量前述偏壓電流且檢測對象之單元已發電之啟動電流成分來進行檢查。 依據本發明之太陽電池之缺陷檢查裝置及檢查方法,使用主光源部與副光源部共2個光源,可進行已將偏壓電流除去之正確發電電流之檢測,結果,亦可適當地進行缺陷之圖像顯示。又,依據本發明,即使是太陽電池使用多結晶型太陽電時,由於不會受粒界之影響,因此在已圖像化時不會出現粒界花紋,而可只特定裂痕等缺陷部位。圖式之簡單說明 第1圖係顯示本發明其中一實施形態中太陽電池之缺陷檢查裝置全體構成的立體圖。 第2圖係顯示同缺陷檢查裝置中偏壓電流抽出電路之構成例的電路圖。 第3(a)~(d)圖係顯示具有第2圖所示構成之偏壓電流抽出電路中各部分之電壓波形的圖表。 第4圖係顯示同缺陷檢查裝置中偏壓電流抽出電路之其他構成例的電路圖。 第5圖係顯示同偏壓電流抽出電路中抽出偏壓電流之時機之時間圖。 第6(a)~(c)圖係顯示同缺陷檢查裝置使用發電電流之檢測值來圖像化之方法的說明圖。 第7圖係顯示同缺陷檢查裝置中抵銷偏壓電流前之檢出電流之圖表。 第8圖係顯示同缺陷檢查裝置中抵銷偏壓電流前之檢查圖像之說明圖。 第9圖係顯示同缺陷檢查裝置中抵銷偏壓電流後之檢出電流之圖表。 第10圖係顯示同缺陷檢查裝置中抵銷偏壓電流後之檢查圖像之說明圖。用以實施發明之形態 以下,參考圖式來說明本發明的實施形態。 第1圖顯示本發明實施形態中太陽電池之缺陷檢查裝置之全體構成。 該缺陷檢查裝置具有:載置台1、檢查接腳2、主光源3、副光源4、光源控制電路5、移動機構6、分流器電阻7、放大器8、偏壓電流抽出電路9、偏壓電流抵銷電路10、遮蔽(mute)電路11、類比數位(以下稱為A/D)轉換器12、圖像處理裝置13、以及顯示器14。 載置台1係設於缺陷檢查裝置之上部而可載置太陽電池S,且檢測對象之太陽電池S係使受光面向下而被載置於此處。又,在此太陽電池S係指已串聯複數太陽電池之串以及已連接串之模組。載置台1係宜以玻璃等具有透明性之材料來構成。 針對突出於所載置之太陽電池S兩端之標記導線(Tab lead),分別連接已設置於載置台1兩端的檢查接腳2。在此狀態下,從載置台1下面所配置之主光源3,對檢測對象之態樣電池單元照射光。在此,主光源3可藉由移動機構6朝太陽電池S之長邊方向移動。且主光源3之初始位置係位在成為第1次檢測對象之太陽電池S之第1個單元的正下方。而,在本實施形態係使用雷射光源來作為主光源3。 對於太陽電池S中殘留之全部單元(即非檢測對象單元之全體),從複數之副光源4來照射光。此時,藉由光源控制電路5,將副光源4之光的放射照度控制成較主光源3之光的放射照度為高。 將已發電之檢測對象單元之電流從檢查接腳2取出,且將分流器電阻7之兩端所產生之電壓用放大器放大,藉此將所檢出之電流轉換成電壓。而,不限於分流器電阻7,只要是將電流轉換成電壓之電流電壓轉換器即可。 已放大之電壓值Va+Vb係被賦予至偏壓電流抽出電路9,且抽出與藉由副光源4之光的照射所產生之偏壓電流成分對應之偏壓電壓值Vb。而,Va係由檢測對象單元中光啟動電力產生之電壓。 偏壓電流抵銷回路10係由訊差放大器構成,被賦予有放大器8所輸出之電壓Va+Vb、與偏壓電流抽出電路9所抽出之偏壓電壓Vb,並將從電壓Va+Vb減去偏壓電壓Vb之值放大且輸出。而來自偏壓電流抵銷電路10之輸出會被賦予至遮蔽電路11。 遮蔽電路11係構造成可將在偏壓電流抵銷電路10抵銷偏壓電流成分時發生之過渡性訊號之雜亂遮蔽(muting),且不會顯示於之後的顯示器14中的圖像。雖該遮蔽電路11係期望設置成過渡性訊號的雜亂不會影響圖像,但只要根據期望之圖像品質來設置即可,不一定是不可或缺條件。 來自遮蔽電路11之輸出係藉由A/D轉換器12轉換成數位資料,且在圖像處裡裝置13中實施圖像處理,顯示於顯示器14。 如此一來,從來自檢測對象之第1個太陽電池單元之輸出抵銷偏壓電流,只取出發電電流,顯示於顯示器14。 在檢測對象之第1個太陽電池單元之檢測結束後,檢測對象單元會移到第2個太陽電池單元。因此,主光源3會藉由移動機構6朝第2個太陽電池單元之下部移動,並朝第2個太陽電池單元照射光。此時,副光源4之照射對象係藉由光源控制電路5,切換為除了已成為新檢測對象單元之第2個太陽電池單元以外的全部非檢測對象單元。之後的步驟係與第1個單元之檢測流程相同。 經過如此之流程,直到太陽電池S之全部單元之檢測結束前,重覆上述之來自太陽電池單元之輸出電流之檢測、偏壓電流之抵銷、直到圖像化前之處理,並檢測各單元每一發電電流而顯示為圖像資料。 第2圖係顯示偏壓電流抽出電路9之電路構成例。該構成係採用類比電路方式,且具有:低通濾過器21、減法電路22、包絡線偵測電路23、加法電路24、取樣保持電路25、時機訊號產生電路26。 使用顯示有由該第2圖中各電路元件輸出之電壓V1~V6之波形的第3圖,來說明該偏壓電流抽出電路9之動作。 藉由第1圖所示之放大器8所放大且輸出之電壓V1(=Va+Vb)係具有包含如第3(a)圖所示之高頻成分之波形。 將該電壓V1輸入低通濾過器21且積分,除去高頻成分作為如第3(a)圖所示之電壓V2來輸出。 將該電壓V2與放大器8所輸出之電壓V1輸入減法電路22,且將電壓V1減去電壓V2。藉此,可抽出具有電壓V1所含之高頻成分(即與發電電流對應之如第3圖所示之波形)的電壓V3。該電壓V3係含有漣波(ripple)。 該電壓V3係被賦予至電壓包絡線偵測電路23,且藉由偵測該電壓之下限,可獲得具有如第3(b)圖所示之波形的電壓V4。 將該電壓V4與低通濾過器21所輸出之電壓V2輸入至加法電路24且相加,可獲得與如第3(c)圖所示之偏壓電流成分對應之電壓V5。 然而,該電壓V5殘留有包絡線偵測電路23中產生之漣波。因此,使用一顯示時機產生電路26所產生之預定時機的取樣訊號,在取樣保持電路中進行取樣與保持,使偏壓電流呈一定值。藉此,可獲得與如第3(d)圖所示之偏壓電流對應的電壓V6。而,減法電路22與加法電路24可由演算放大器或電晶體等構成。 第4圖顯示偏壓電流抽出電路9之其他電路構成例。該構成相當於使用微電腦且採用數位電路方式之例,具有A/D轉換器31、微電腦32、時機訊號產生電路33、及D/A轉換器34。 當使用該偏壓電流抽出電路9時,在開始已使用主光源3之太陽電池S的檢查前,預先對檢測對象單元以外之太陽電池S全體,只以副光源4之光來照射。即,僅檢測對象之第1個單元未照射到光,而對第1個單元以外之太陽電池S全體照射的狀態,且以該狀態來檢測偏壓電流。 接著,對第2個單元以外之太陽電池S之全體照射副光源4之光,且檢測偏壓電流值。用這樣的流程去切換副光源4之非照射對象,完成全部單元之偏壓電流值之檢測,並藉由A/D轉換器31將測出之類比形態之偏壓電流值轉換成數位資料,預先將時機訊號產生電路33所產生之時機中之資料保存於微電腦32。當該資料被微電腦32讀出時,會藉由D/A轉換器34轉換成類比形態之偏壓電流值後並輸出。 之後,開始太陽電池S之檢查。隨著照射檢測對象單元之主光源3移動而切換副光源4之照射對象。隨著該切換,可讀出微電腦32所保存之資料,且藉由偏壓電流抵消電路10從檢測值減去偏壓電流值,僅求取檢測對象單元之發電電流。 第5圖顯示抽出偏壓電流成分之時機。在此,使用LED1~LED5作為副光源4。 檢測對象單元為第1個單元時,位於第1個單元正下方之LED1為熄滅狀態,而與其他全部單元對應之LED2~LED5則為點亮狀態。 接著,在開始檢測作為檢測對象單元之第2個單元前,點亮LED1,而熄滅LED2來取代。其他之LED3~LED5則維持點亮狀態。該等點亮、熄滅之切換時機,係例如以鄰接單元之界線為準,或使其與主光源3朝下一個檢測對象移動之時機相同等,任一者亦可。 根據鄰接單元之界線來切換LED1~LED5之點亮、熄滅時,係使用紅外線、雷射感測器等來檢出單元之界線。而,在從雷射感測器等感測器輸出光時,宜較檢查用之主光源3之輸出要小許多。 同樣地,在開始檢測作為檢測對象單元之第3個單元前,點亮LED2,而熄滅LED3來取代,且其他LED1、LED4~LED5則維持點亮狀態。在開始檢測作為檢測對象單元之第4個單元前,點亮LED3,而熄滅LED4來取代,且其他LED1~LED2、LED5則維持點亮狀態。在開始檢測作為檢測對象單元之第5個單元前,點亮LED4,而熄滅LED5來取代,且其他LED1~LED3、LED5則維持點亮狀態。 經由這樣的流程,輸出第1~5個單元之各自的偏壓電流Ib1~Ib5,且按照預定之時機,取得當時之偏壓電流值。 參考第6圖,說明使用太陽電池S所發電之光啟動電流來進行圖像顯示之方法。 如第6(a)圖所示,對於表面存在缺陷(裂痕)之太陽電池單元,於與突出於兩端之標記導線正交之方向,將來自主光源3之雷射光從圖中左至右方向來掃瞄。藉此所得之發電電流I1、I2、...、In(n為2以上之整數),包含有與各自掃瞄線上之缺陷位置對應之電流成分。 藉由該發電電流I1、I2、...、In之電流值係用時間序列來連接,可利用示波器等顯示如第6(b)圖所示之波形。接著,藉由對發電電流I1、I2、...、In施行圖像處理,可如第6(c)圖所示顯示圖像並特定缺陷。 第7圖顯示與抵銷偏壓電流前之檢測電流值對應之圖像。該檢測電流值係與第1圖所示之分流器電阻7之兩端發生之電壓對應,且將其與檢測對象單元所發電之啟動電流及偏壓電流相加。 在此,太陽電池單元為已串聯3個單元之串。由於依據各單元具有不同之電阻,因此得知偏壓電流亦各自不同。 第8圖顯示抵銷偏壓電流前之串的檢查圖像。圖中,當左側之太陽電池單元為單元1、中央之單元為單元2、右側之單元為單元3時,單元2、單元3會超過檢測系統之輸入範圍,由於超過圖像資料之處理上限而無法圖像化處理,因此無法取得圖像資料。 第9圖顯示與抵銷偏壓電流後之檢測電流值對應的圖像。可得知是從位於左側之第1個單元1取得以0V為基準之發電電流之檢測值。 第10圖顯示抵銷偏壓電流後之串的檢查圖像。可得知在所有單元1~單元3皆可於不受偏壓電流之影響下,取得顯示有缺陷(裂痕)的圖像資料而使檢查者可辨認。 檢出太陽電池所發電之光啟動電流且檢出缺限部分之方式中,為了將基於檢測對象單元之發電電流的缺限部位正確地圖像化,必須檢出且抵銷檢測電流所含的偏壓電流。依據本實施形態,藉由如上述只檢測啟動電流,可迴避如EL法之結晶形態顯示為黑暗部而難以特定缺陷部位之現象。 上述實施形態係皆為一例,於本發明之技術範圍內中可變形為各式各樣。 1‧‧‧載置台 2‧‧‧檢查接腳 3‧‧‧主光源 4‧‧‧副光源 5‧‧‧光源控制電路 6‧‧‧移動機構 7‧‧‧分流器電阻 8‧‧‧放大器 9‧‧‧偏壓電流抽出電路 10‧‧‧偏壓電流抵銷電路 11‧‧‧遮蔽電路 12、31‧‧‧A/D轉換器 13‧‧‧圖像處理裝置 14‧‧‧顯示器 21‧‧‧低通濾過器 22‧‧‧減法電路 23‧‧‧包絡線偵測電路 24‧‧‧加法電路 25‧‧‧取樣保持電路 26、33‧‧‧時機訊號產生電路 32‧‧‧微電腦 34‧‧‧D/A轉換器 S‧‧‧太陽電池 I1、I2~In‧‧‧發電電流 Ib1~Ib5‧‧‧偏壓電流 LED1~LED5‧‧‧副光源 V1~V6‧‧‧電壓 第1圖係顯示本發明其中一實施形態中太陽電池之缺陷檢查裝置全體構成的立體圖。 第2圖係顯示同缺陷檢查裝置中偏壓電流抽出電路之構成例的電路圖。 第3(a)~(d)圖係顯示具有第2圖所示構成之偏壓電流抽出電路中各部分之電壓波形的圖表。 第4圖係顯示同缺陷檢查裝置中偏壓電流抽出電路之其他構成例的電路圖。 第5圖係顯示同偏壓電流抽出電路中抽出偏壓電流之時機之時間圖。 第6(a)~(c)圖係顯示同缺陷檢查裝置使用發電電流之檢測值來圖像化之方法的說明圖。 第7圖係顯示同缺陷檢查裝置中抵銷偏壓電流前之檢出電流之圖表。 第8圖係顯示同缺陷檢查裝置中抵銷偏壓電流前之檢查圖像之說明圖。 第9圖係顯示同缺陷檢查裝置中抵銷偏壓電流後之檢出電流之圖表。 第10圖係顯示同缺陷檢查裝置中抵銷偏壓電流後之檢查圖像之說明圖。 1‧‧‧載置台 2‧‧‧檢查接腳 3‧‧‧主光源 4‧‧‧副光源 5‧‧‧光源控制電路 6‧‧‧移動機構 7‧‧‧分流器電阻 8‧‧‧放大器 9‧‧‧偏壓電流抽出電路 10‧‧‧偏壓電流抵銷電路 11‧‧‧遮蔽電路 12‧‧‧A/D轉換器 13‧‧‧圖像處理裝置 14‧‧‧顯示器 S‧‧‧太陽電池
权利要求:
Claims (4) [1] 一種太陽電池之缺陷檢查裝置,係檢查已串聯複數單元之太陽電池之缺陷者,其特徵在於包含有:主光源,係對前述單元中之檢測對象之單元照射光者;副光源,係對前述單元中之非檢測對象之單元照射光者;光源控制電路,係控制前述主光源與前述副光源分別之照度,使前述副光源之照度較前述主光源照度為高者;電流電壓轉換器,係被賦予前述太陽電池所輸出之電流,且將其加以轉換成電壓並輸出者;放大器,係被賦予前述電流電壓轉換器所輸出之電壓,且將其加以放大並輸出者;偏壓電流抽出電路,係將包含於來自前述放大器之輸出的偏壓電流抽出並加以輸出者;偏壓電流抵銷電路,係將來自前述放大器之前述輸出,減去前述偏壓電流抽出電路所抽出之前述偏壓電流並加以輸出者;A/D轉換器,係將來自前述偏壓電流抵銷回路之輸出轉換成數位資料並加以輸出者;圖像處理裝置,係對前述A/D轉換器所輸出之數位資料進行圖像處理並輸出圖像資料者;及顯示器,係被賦予前述圖像處理裝置所輸出之前述圖像資料並進行圖像顯示者,且,前述缺陷檢查裝置係根據已考量前述偏壓電流且檢測對象之單元已發電之啟動電流成分來進行檢查。 [2] 如申請專利範圍第1項之太陽電池之缺陷檢查裝置,其中前述偏壓電流抽出電路具有:低通濾波器,係被賦予來自前述放大器之輸出作為第1電壓,並輸出已將高頻成分除去之第2電壓者;減法電路,係被賦予前述第1電壓與前述第2電壓,且輸出將前述第1電壓減去前述第2電壓而含有前述高頻成分之第3電壓者;電壓包絡線偵測電路,係被賦予前述第3電壓,且輸出已偵測該電壓之下限之第4電壓者;加法電路,係被賦予前述第2電壓與前述第4電壓,並輸出將前述第2電壓與前述第4電壓相加之第5電壓者;取樣保持電路,係被賦予前述第5電壓,且將已在預定之時機取樣保持之第6電壓作為前述偏壓電流且輸出者;及移動機構,係使前述主光源朝太陽電池之長邊方向移動者,且,前述缺陷檢查裝置係在與已藉由前述移動機構將前述主光源朝檢測對象之單元移動之時間點對應之時機,或與串聯連接之單元之連接部分對應之時機,求取流動於檢測對象之單元之前述偏壓電流。 [3] 如申請專利範圍第1項之太陽電池之缺陷檢查裝置,其中前述之偏壓電流抽出電路具有:A/D轉換器,係被賦予來自前述放大器之輸出,且將其轉換成數位訊號並輸出者;微電腦,係在預定之時機,將來自前述A/D轉換器之輸出作為偏壓電流檢測資料來保存者;D/A轉換器,係將前述微電腦所保存之前述偏壓電流檢測資料轉換成類比訊號,並作為前述偏壓電流加以輸出者;及移動機構,係使前述主光源朝太陽電池之長邊方向移動者,又,在檢查開始前,檢測各單元之每一偏壓電流並作為前述偏壓電流檢測資料來保存於前述微電腦;且,前述缺陷檢查裝置係在與已藉由前述移動機構將前述主光源朝檢測對象之單元移動之時間點對應之時機,或與串聯連接之單元之連接部分對應之時機,輸出前述微電腦所保存之前述偏壓電流檢測資料,且由前述D/A轉換器輸出前述偏壓電流者。 [4] 一種太陽電池之缺陷之檢查方法,係檢查已串聯複數單元之太陽電池之缺陷者,其特徵在於包含有以下步驟:藉由主光源,用第1照度對前述單元中之檢測對象之單元,照射光;藉由副光源,用較前述第1照度高之第2照度對前述單元中之非檢測對象之單元照射光;藉由偏壓電流抽出電路,抽出包含於前述太陽電池所輸出之電流之偏壓電流;藉由偏壓電流抵銷電路,從前述太陽電池所輸出之電流抵銷前述偏壓電流;及使用來自前述偏壓電流抵銷電路之輸出來進行圖像處理且顯示於顯示器,藉此,根據已考量前述偏壓電流且檢測對象之單元已發電之啟動電流成分來進行檢查。
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